相干散射（coherence scattering）是指低能量X线（如10keV）与物质相互作用能发生干涉的散射过程。在此过程中，一个束缚电子吸收入射光子能量跃迁到高能级，随即放出一个能量等于入射光子能量的散射光子。由于电子未脱离原子，故光子能量损失可忽略不计，相干散射不产生电离过程。在X线诊断能量范围内，相干散射产生的几率只占5％。
